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マスフローコントローラ(制御 設計) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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Aera FC-R7800シリーズ マスフローコントローラ

高精度・信頼性のメタルシールモデル

FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。 業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既存のマスフローコントローラ(MFC)と素早く簡単に交換できます。

  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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